Vakum kaplama makinelerinin ana sınıflandırması

İki ana kategori vardır: buharlaşma biriktirme kaplaması ve püskürtme biriktirme kaplaması, vakum iyonu buharlaşma, magnetron püskürtme, MBE moleküler ışın epitaksi, sol-jel yöntemi, vb.
1. Buharlaşma kaplaması için:
Genel olarak, hedef malzeme, yüzey bileşenlerini atomik gruplar veya iyonlar şeklinde buharlaştırmak için ısıtılır.
Kalınlık tekdüzeliği esas olarak aşağıdakilere bağlıdır:
1. substrat malzemesi ile hedef malzeme arasındaki kafes eşleştirme derecesi
2. substrat yüzey sıcaklığı
3. Buharlaşma gücü, oran
4. Vakum derecesi
5. Kaplama süresi, kalınlık boyutu.
Bileşen Tekdüzeliği:
Buharlaşma kaplamasının bileşen homojenliğini garanti etmek kolay değildir. Ayarlanabilen spesifik faktörler yukarıdaki ile aynıdır. Bununla birlikte, prensibin sınırlandırılması nedeniyle, single olmayan bileşen kaplama için, buharlaşma kaplamasının bileşen homojenliği iyi değildir.
Kristal Oryantasyon Tekdüzeliği:
1. Kafes eşleştirme derecesi
2. substrat sıcaklığı
3. Buharlaşma oranı
Püskürtme kaplaması birçok türe ayrılabilir. Genel olarak konuşursak, buharlaşma kaplamasından elde edilen fark, püskürtme oranının ana parametrelerden biri haline gelmesidir.
Püskürtme kaplamasında, lazer püskürtme kaplama PLD'si bileşen homojenliğini korumak kolaydır, ancak atomik ölçekte kalınlık homojenliği nispeten zayıftır (darbeli püskürtme olduğu için) ve kristal yönünün (dış kenar) büyümesinin kontrolü de nispeten geneldir.