Magnetron püskürtme ekipmanı, malzeme yüzey işlemi ve film hazırlığı gibi birçok alanda önemli bir rol oynar. Ekipmanın sabit çalışmasını sağlamak, servis ömrünü uzatmak ve püskürtülen filmin kalitesini sağlamak için günlük bakım gereklidir. Aşağıda, Magnetron Püskürtme Ekipmanlarının günlük bakımının önemli noktaları üzerinde ayrıntılı bilgi verecektir.
Vakum sistemi bakımı
1. Vakum pompası bakımı: Vakum pompası, manyetron püskürtme ekipmanının vakum sisteminin temel bileşenidir. Yağ seviyesinin normal aralıkta olduğundan emin olmak için vakum pompasının yağ seviyesini düzenli olarak kontrol edin. Uzun süreli kullanımdan sonra, vakum pompası yağının performansı, safsızlıkların ve nemin adsorpsiyonu nedeniyle bozulacaktır. Genel olarak, vakum pompası yağının her belirli çalışma döneminin değiştirilmesi gerekir (örneğin, 2000 saat). Aynı zamanda, vakum pompa kayışının sıkışmasını kontrol etmek için dikkat edin. Çok gevşek bir kayış, vakum pompası hızının kararsız olmasına ve egzoz verimliliğini etkilemesine neden olur; Çok sıkı kemerin aşınmasını hızlandırabilir. Kemer aşınma veya yaşlanma belirtileri gösterirse, zamanla değiştirilmelidir.
2. Vakum borusu temizliği: Vakum borusu, püskürtme işlemi sırasında üretilen toz, safsızlıkları ve parçacıkları emmesi kolay olan vakum pompasını ve püskürtme odasını bağlayan kanaldır. Bağlı safsızlıkları çıkarmak için borunun iç kısmını temizlemek için düzenli olarak özel bir vakum boru temizleme aracı kullanın. Temizlenmesi zor parçalar için gaz temizleme kullanılabilir, ancak temizleme gazının temizliği sağlanmalıdır. Ayrıca, herhangi bir sızıntı olup olmadığını görmek için borunun sıkılığını kontrol edin. Küçük bir sızıntı, vakum derecesinin ideal duruma ulaşamamasına neden olabilir ve püskürtme etkisini etkileyebilir. Borudaki sızıntıları tespit etmek için bir helyum kütle spektrometresi sızıntı dedektörü kullanılabilir ve sızıntılar zamanında onarılabilir.
3. Vakum Göstergesi Kalibrasyonu: Vakum göstergesi, vakum sisteminin vakum derecesini ölçmek için kullanılır ve ölçüm doğruluğu, operatörün ekipmanın çalışma durumu hakkındaki kararıyla doğrudan ilişkilidir. Vakum göstergesini düzenli olarak kalibre edin ve genellikle altı ayda bir veya bir yılda bir kalibre edilmesi önerilir. Kalibrasyon işlemi, ekipman üreticisi tarafından sağlanan çalışma kılavuzuna uygun olarak gerçekleştirilmeli ve vakum göstergesi ile ölçülen vakum derecesi verilerinin doğru ve güvenilir olduğundan emin olmak için standart kalibrasyon ekipmanı kullanılmalıdır.
Püskürtme Hedef Bakımı
1. Hedef Yüzey Temizliği: Püskürtme işlemi sırasında, püskürtme ürünleri ve safsızlıklar yavaş yavaş hedef yüzeye birikecek ve püskürtme hızını ve film kalitesini etkileyecektir. Ekipmanın her kullanımından sonra, hedef yüzey zamanında temizlenmelidir. Metal hedefler için, yüzey yataklarını hafifçe fırçalamak için özel bir hedef temizleme fırçası kullanılabilir; Seramik hedefleri gibi daha hassas hedefler için, uygun miktarda özel temizleme maddesine batırılmış temiz bir yumuşak bezle hafifçe silmek gibi daha yumuşak bir temizleme yöntemi gereklidir. Hedefe zarar vermekten kaçınmak için hedefin yüzeyini çizmek için keskin araçlar kullanmaktan kaçının.
2. Hedef kurulum denetimi: Hedefin sıkıca kurulduğundan emin olmak için hedefin kurulumunu düzenli olarak kontrol edin. Hedef, püskürtme işlemi sırasında yüksek hızlı iyonlar tarafından bombalanacaktır. Sıkı bir şekilde kurulmamışsa, hedefin sallanmasına veya hatta düşmesine neden olabilir, bu da sadece püskürtme etkisini etkilemekle kalmaz, aynı zamanda ekipmana da zarar verir. Hedef ve püsküren güç kaynağı arasındaki bağlantının iyi olup olmadığını kontrol edin. Bağlantının gevşekliği, püskürtme sürecinin kararsız olmasına ve kıvılcım gibi anormal fenomenlere neden olabilir. Bağlantının gevşek olduğu tespit edilirse, bağlantı cıvataları zamanla sıkılmalıdır.
3. Hedef Hizmet Yaşam İzleme: Farklı hedef malzemelerin özel hizmet ömrü vardır. Hedefin püskürtme süresine ve püskürtme etkisine dikkat edin. Hedefin püskürtme oranı önemli ölçüde düştüğünde ve film kalitesi dalgalandığında, hedefin hizmet ömrüne yakın olduğu anlamına gelebilir. Püskürtme işleminin stabilitesini ve film kalitesinin tutarlılığını sağlamak için hedef malzemeyi zamanında değiştirin. Aynı zamanda, sonraki hedef malzeme değiştirme ve performans değerlendirmesi için bir temel sağlamak için hedef malzemenin kullanım süresini ve ilgili parametrelerini kaydedin.
Elektrik sistemi bakımı
1. Güç kaynağı denetimi: Magnetron püskürtme ekipmanının güç kaynağı, püskürtme işlemi için enerji sağlar ve stabilitesi çok önemlidir. Güç kaynağının çıkış voltajının ve akımının normal aralıkta olup olmadığını düzenli olarak kontrol edin. Çıktı parametrelerinin ekipman ayar değerleriyle tutarlı olup olmadığını kontrol etmek için güç kaynağını tespit etmek için profesyonel elektrik ölçüm cihazlarını kullanabilirsiniz. Çıkış voltajının veya akımın anormal olarak dalgalandığı tespit edilirse, neden derhal araştırılmalıdır. Güç kaynağının dahili bileşenlerinde veya çizgi bağlantısıyla ilgili bir sorun olabilir. Ayrıca, güç kaynağının çalışma sırasında ısıyı normal olarak dağıtabilmesini sağlamak için güç kaynağının ısı dağılmasını kontrol edin. Güç kaynağı uzun süre çalışırken çok fazla ısı üretecektir. Isı dağılması zayıfsa, bileşenlere zarar verebilir. Soğutma fanının normal çalıştığından emin olmak için güç kaynağı radyatöründeki tozu temizleyin.
2. Elektrik devresi bakımı: Ekipman içindeki elektrik devresinin yaşlanıp zarar görmediğini kontrol edin. Uzun süreli kullanımdan sonra, elektrik devresi, yalıtım tabakasının yaşlanması ve telin hasarı gibi sorunlar yaşayabilir, bu da güvenlik tehlikeleri getirecek ve ekipmanın normal çalışmasını etkileyecektir. Bulunan yaşlanma veya hasarlı devreler için zamanla değiştirilmelidir. Aynı zamanda, zayıf temasa neden olan gevşeklikten kaçınmak için çizgi bağlantısının sağlam olduğundan emin olun. Gevşek bağlantı noktaları, ekipmanın çalışması sırasında kıvılcımlar üretebilir, ekipman bileşenlerine zarar verebilir ve hatta yangına neden olabilir. Hat bağlantı noktalarının vidalarını düzenli olarak sıkın ve fiş ve soket arasındaki kontağı kontrol edin.
3. Kontrol Sistemi Bakımı: Ekipmanın kontrol sistemi, püskürtme işleminin çeşitli parametrelerini izlemek ve ayarlamaktan sorumludur. Veri kaybını önlemek için kontrol sistemindeki verileri düzenli olarak yedekleyin. Aynı zamanda, kontrol sistemi yazılımı için güncelleme istemleri olup olmadığını kontrol edin. Zamanında yazılım güncellemeleri bilinen güvenlik açıklarını çözebilir ve sistemin istikrarını ve işlevini geliştirebilir. Buna ek olarak, düğmelerin ve ekran ekranının düzgün çalıştığından emin olmak için kontrol sisteminin çalışma arayüzünü temizleyin ve operatörün parametreleri doğru bir şekilde girip ekipman işletim bilgilerini elde edebileceğini.
Soğutma Sistemi Bakımı
1. Soğutma suyu denetimi: Soğutma sistemi, çalışma sırasında ekipman tarafından üretilen ısıyı azaltmak için kullanılır. Soğutucu, soğutma sisteminin anahtar ortamıdır. Seviyenin normal aralıkta olduğundan emin olmak için soğutucu seviyesini düzenli olarak kontrol edin. Uzun süreli kullanım sırasında buharlaşma, sızıntı vb. Nedeniyle soğutucu seviyesi düşecektir. Çok düşük bir seviye soğutma etkisini etkileyecektir. Aynı zamanda, soğutma sıvısının kalitesini kontrol edin ve soğutucunun renksiz mi, bulanık mı yoksa kokusu olup olmadığını gözlemleyin. Soğutucu bozulursa, zamanla değiştirilmelidir. Genellikle soğutucunun 1-2 yılda bir değiştirilmesi önerilir. Spesifik yedek döngüsü, ekipmanın kullanımına ve üreticinin önerilerine göre belirlenebilir.
2. Soğutma borusu bakımı: Soğutma borusunun bloke olup olmadığını kontrol edin. Soğutma borusunun içi, soğutma sıvısının normal akışını etkileyen ölçek, safsızlıklar vb. Birikimi nedeniyle bloke edilebilir. Boru kimyasal temizlik veya fiziksel temizlik ile temizlenebilir. Kimyasal temizlik özel bir boru temizleme maddesi kullanabilir, ancak borudaki korozyonu önlemek için temizleme maddesinin konsantrasyonuna ve temizleme süresine dikkat edin. Fiziksel temizlik, yüksek basınçlı su tabancası yıkama ve diğer yöntemlerle gerçekleştirilebilir. Ayrıca, soğutma sıvısı sızıntısını önlemek için soğutma borusunun sızdırmazlığını kontrol edin. Boruda bir sızıntı bulunursa, hasarlı boru parçaları zamanında onarılmalı veya değiştirilmelidir.
3. Soğutma ekipmanı denetimi: Soğutma sistemindeki su pompasını, radyatörü ve diğer ekipmanları kontrol edin. Su pompasının normal çalıştığından emin olun. Su pompasının pervanesi, aşınma nedeniyle pompalama kapasitesini etkileyebilir. Su pompasının anormal bir şekilde pompalandığı tespit edilirse, su pompası zamanında onarılmalı veya değiştirilmelidir. Radyatörün ısı emici yüzgeçlerinin bloke edilip edilmediğini kontrol edin, ısı lavabo kanatları üzerindeki tozu ve kalıntıları temizleyin ve radyatörün ısıyı etkili bir şekilde dağıtabileceğinden emin olun. Aynı zamanda, fanın normal olarak radyatör için soğutma havası sağlayabilmesini sağlamak için soğutma fanının çalışmasını kontrol edin.
Ekipman temizliği ve çevre bakımı
1. Ekipman Yüzey Temizliği: Toz, yağ ve diğer kirleticileri çıkarmak için manyetron püskürtme ekipmanının yüzeyini düzenli olarak temizleyin. Uygun miktarda deterjana dalmak için temiz bir yumuşak bez kullanabilir ve ekipmanın yüzeyini hafifçe silebilirsiniz. Bazı inatçı lekeler için özel bir ekipman temizleyici kullanabilirsiniz, ancak deterjanın ekipmanın içine girmesini önlemeye dikkat edin. Temizlikten sonra, ekipmanın görünümünü temiz tutmak için ekipmanın yüzeyini temiz bir bezle silin.
2. Temiz çalışma ortamı: Ekipmanın çalışma ortamının performansı ve ömrü üzerinde de önemli bir etkisi vardır. Çalışma ortamını temiz tutun, yerdeki tozu düzenli olarak temizleyin ve ekipmana girmesini çok fazla önleyin. Çalışma ortamının sıcaklığını ve nemini kontrol edin. Genel olarak, magnetron püskürtme ekipmanı, 20-25 sıcaklık ve%40-%60'lık nispi nemi olan bir ortamda çalışmak için uygundur. Ortam sıcaklığını ve nemini ayarlamak için klima ve nem alım ekibi takılabilir. Ayrıca, ekipmanın çalışması sırasında üretilen ısı ve egzoz gazı birikimini önlemek için çalışma ortamının iyi havalandırıldığından emin olun.
Kısacası, magnetron püskürtme ekipmanlarının günlük bakımı, vakum sistemi, püskürtme hedefi, elektrik sistemi, soğutma sistemi, ekipman temizliği ve çevresel bakım gibi birçok yönü kapsar. Operatörler, ekipmanın kararlı çalışmasını sağlamak, ekipmanın servis ömrünü iyileştirmek ve böylece püskürtülen filmin kalitesini ve üretim verimliliğini artırmak için ekipman üreticisinin bakım kılavuzunu düzenli bakım için derhal keşfetmeli ve çözmelidir.
