1. Vakum odası
Vakum odası, vakum kaplama makinesinin temel kısmıdır. Ana işlevi bir vakum ortamı oluşturmak ve kaplama işlemini bir vakum durumunda tutmaktır. Vakum odası genellikle yüksek vakum sızdırmazlık ve korozyon direnci ile paslanmaz çelik veya alüminyum alaşım malzemelerden yapılmıştır.
2. Pompa sistemi
Pompa sistemi, vakum kaplama makinesinin temel bileşenlerinden biridir. Vakum derecesinin gerekli dereceye ulaşması için vakum odasındaki gazı çıkarmaktan sorumludur. Pompa sistemi genellikle moleküler pompalar, mekanik pompalar ve difüzyon pompalarından oluşur. Farklı pompa kombinasyonları farklı vakum dereceleri ve pompa hızları elde edebilir.
3. Substrat sıkıştırma cihazı
Substrat kelepçeleme cihazı, vakum kaplama makinesinin bir başka önemli bileşenidir. Kaplanacak substrat malzemesini sabitlemek ve konumunu ve hareket yörüngesini kontrol etmek için kullanılır. Substrat kelepçeleme cihazı genellikle bir dönen tablo, bir kaldırma mekanizması ve bir substrat kelepçesinden oluşur. Farklı kelepçeler farklı şekil ve boyutlardaki substratlara uyum sağlayabilir.
4. Isıtma sistemi
Isıtma sistemi, vakum kaplama makinesinde gerekli bir bileşendir. Kaplamanın oluşumunu teşvik etmek ve kalitesini iyileştirmek için substratı ve kaplama malzemesini ısıtabilir. Isıtma sistemi genellikle direnç teli, elektromanyetik ısıtma, indüksiyon ısıtma ve diğer yöntemlerle uygulanır.
5. Kaplama kaynağı
Kaplama kaynağı, vakum kaplama makinesindeki son bileşendir. Genellikle metaller, seramik, silikon ve diğer malzemeler dahil olmak üzere kaplanması gereken malzemeyi sağlamak için kullanılır. Kaplama kaynağı, gerekli kaplamayı oluşturmak için substrat üzerindeki malzemeyi elektron ışını, buharlaşma, püskürtme ve diğer yöntemlerle biriktirebilir.
Özet: Vakum kaplama makinesi, vakum odası, pompa sistemi, substrat kenetleme cihazı, ısıtma sistemi ve kaplama kaynağının ana bileşenleri olduğu yüksek kaliteli kaplamalar üretmek için kullanılan bir cihazdır. Bu bileşenler kaplama hazırlama işlemini tamamlamak için birlikte çalışır.
