Vakumlu kaplama makinelerinde ince filmlerin izlenmesine yönelik şu anda görsel izleme, sabit (ekstrem) değer izleme, kristal salınım izleme ve zaman izleme dahil olmak üzere birçok yöntem bulunmaktadır. Bu makale öncelikle üç yöntemi tanıtacaktır: görsel izleme, sabit (ekstrem) değer izleme ve kristal salınım izleme. Doğrudan izleme olarak da bilinen görsel izleme, filmi izlemek için gözleri kullanır. Filmin büyüme süreci sırasında girişim olayları renk değişikliklerine neden olur ve film kalınlığını bu renk değişikliklerine göre kontrol ederiz. Bu yöntem belirli bir derecede hataya sahiptir ve çok doğru değildir, deneyim gerektirir.
Sabit-değer (ekstrem-değer) izleme: Bu, esas olarak yansıtıcı (aktarıcı) optik izlemeyi kullanır. Aşırı-değer izleme yöntemi: Film kalınlığı arttıkça yansıtıcılığı ve geçirgenliği de buna göre değişir. Yansıtıcılık veya geçirgenlik aşırı bir noktaya ulaştığında, kaplamanın optik kalınlığı ND, izleme dalga boyunun (λ) dörtte birinin-bir tamsayı katı olarak belirlenebilir. Bununla birlikte, uç-değer yönteminin nispeten büyük bir hatası vardır çünkü yansıtma veya geçirgenlik, uç değerin yakınında çok yavaş değişir; yani R/T yalnızca film kalınlığındaki (ND) önemli bir artıştan sonra değişir. En hassas konum dalga boyunun-sekizde biridir. Sabit-değer izleme yöntemi: Bu yöntem, kaplamanın durma noktasının izleme dalga boyunun-dörtte biri olmadığı gerçeğinden yararlanır. Daha sonra bilgisayar, kaplamanın durma noktası olan dalga boyu 1'deki toplam film kalınlığının yansıtıcılığını (veya geçirgenliğini) hesaplar. Kristal salınımının izlenmesi: Kristal salınımının çalışma prensibi, bir kuvars kristalinin titreşim frekansının kütlesiyle ters orantılı olması prensibine dayanmaktadır. Ancak kuvars izlemenin bir dezavantajı, film kalınlığı belirli bir seviyeye arttığında, kuvarsın kendi özelliklerinden dolayı titreşim frekansının kalınlıkla tamamen doğrusal olarak ilişkili olmamasıdır. Bu durumda yeni bir kuvars osilatörünün kullanılması gerekir.
Çeşitli izleme yöntemlerinin her birinin avantajları ve dezavantajları vardır, ancak çok-katmanlı kaplamalar için optik izleme genellikle birincil yöntemdir ve kuvars kristali salınımıyla desteklenir. Ayrıca kaplama sırasında gaz enjeksiyonu gerektiren bazı işlemler için, kontrol için hassas valfler ve fotoelektrik algılama sistemleri gerektiren akış ölçerler veya basınç göstergelerine ihtiyaç vardır. Vakumlu kaplama makineleri ayrıca şemsiyenin ana şaftının bir yatağın içine yerleştirildiği ve bir motorun şemsiyeyi döndürmek için yatağı çalıştırdığı bir dönüş kontrol sistemine ihtiyaç duyar. Dönüş hızı daha sonra bir PLC tarafından kontrol edilir. Pota dönüşü bir motor tarafından tahrik edilir ve fotoelektrik indüksiyon sayımı kullanılır, koruyucu plaka ise pnömatik bir anahtar kullanılarak döner. Pompalama hızını hızlandırmak ve belirli bir vakum seviyesine ulaşmak için, vakum odasının soğutulması, içerideki havanın -130 santigrat dereceye kadar dondurulması ve dondurularak su buharının uzaklaştırılması gerekir. Elektrik kontrol bölümü esas olarak PLC otomatik kontrolünü benimser. Önceden tasarlanmış program ilk önce PLC'ye girilir ve işlemcinin ana devresi, işletim panelindeki her yüksüz sisteme bağlanır. İşletim panelindeki düğmeye basıldığında, bilgi merkezi işlemciye iletilir ve daha sonra merkezi kontrol sistemi, eylemi yürütmek ve tamamlamak için dal devrelerini analiz eder ve talimatlar verir.
Vakumlu kaplama makineleri birden fazla disiplinin entegre olduğu cihazlardır. En gelişmiş elektromekanik teknolojileri, kontrol teknolojilerini, elektrik otomasyonunu, BT teknolojilerini, soğutma teknolojilerini, mikro devre entegre sistemlerini, yüksek-voltaj kontrol sistemlerini, mekanik teknolojileri, işleme teknolojilerini, optoelektronik teknolojileri, optik teknolojileri, pnömatik kontrol teknolojilerini, optoelektronik algılama teknolojilerini, iletişim teknolojilerini, vakum teknolojilerini, ince-film optiklerini ve kaplama teknolojilerini ve daha fazlasını içerirler. Vakumlu kaplama makineleri gelişmekte olan endüstrilerin bir temsilcisi olarak düşünülebilir. Günümüzde özellikle ince film üretiminde vakumlu kaplama makineleri yaygın olarak kullanılmaktadır. Üretilen çeşitli ince filmler, dijital kameralar, dijital kameralar, teleskoplar, projektörler, enerji kontrolü, optik iletişim, görüntü teknolojisi, interferometreler, yapay uydular ve füzeler, yarı iletken lazerler, mikroelektromekanik sistemler, bilgi endüstrisi, lazer üretimi, çeşitli filtreler, aydınlatma endüstrisi, sensörler, mimari camlar, otomotiv endüstrisi, dekoratif öğeler, madeni paralar, gözlük camları ve daha fazlası gibi çeşitli optoelektronik sistemlerde ve optik cihazlarda kullanılmaktadır. Kaplama makineleri insan yaşamına yakından entegre hale geldi.
