1. Odanın yüzeyi sürekli olarak "yeniden yazılacaktır"
Her PVD işlemi haznede iz bırakacaktır.
Bu izler esas olarak şunlardan gelir:
Hedeften sıçrayan malzemenin birikmesi, reaksiyon ürünlerinin yapışması ve birikmesi, birden fazla malzemenin dönüşümlü olarak kaplanması
Zamanla odanın iç duvarı artık orijinal metal değil, sürekli olarak üst üste bindirilen ve gelişen bir kompozit film tabakası haline gelir.
Daha da önemlisi, bu film "kararlı" değildir ve yeniden-püskürtme, yeniden biriktirme ve yeniden-tepkime gibi sonraki işlemlere katılmaya devam edecektir.
Başka bir deyişle hazne yüzeyinin kendisi üretim sürecinin bir parçası haline gelmiştir.
2. Gaz ortamı da "hatırlanır"
Oda sadece "büyüyen film" değil, aynı zamanda "havayı tutuyor".
Su buharı, oksijen ve artık proses gazları oda yüzeyinde adsorbe edilmeye devam edecektir.
Sonraki işlemlerde bu gazlar serbest bırakılabilir ve{0}}plazmaya yeniden girebilir.
Bu sürecin özellikleri şunlardır:
Tamamen kontrol edilemez. Sıcaklık, zaman ve deşarj durumuyla güçlü bir şekilde ilişkilidir. Farklı partilerde farklılıklar ortaya çıkacaktır.
Sonuç:
Gaz akış hızı tutarlı olacak şekilde ayarlansa bile reaksiyona dahil olan atmosfer farklı olabilir.
3. Deşarj Yolu Kademeli Olarak "Düzeltilir"
Deşarj başlangıçtan itibaren stabil değildir; bunun yerine, yavaş yavaş uzun-vadeli bir operasyonla bir yapı oluşturur.
İşlem tekrarlandıkça: Bazı bölgeler deşarjı daha kolay sürdürür; diğerleri yavaş yavaş zayıflıyor; plazma dağılımı "alışılmış bir yola" doğru yönelir. Bu süreç aslında "istikrarlı bir yapı"nın kurulmasıdır.
Bir kez oluşturulduktan sonra sonraki süreçler üzerinde sürekli bir etkiye sahip olacaktır.
4. Süreçleri değiştirirken neden sorunların ortaya çıkma olasılığı daha yüksektir?
Bir süreç değiştirildiğinde orijinal "kararlı durum" bozulur: Yeni malzemeler eski katman katmanını kaplar; gaz sistemi değişir; Plazma yapısı yeniden dağıtılır. Ancak bu değişiklikler hemen değil, bir geçiş sürecidir.
Bu süreçte: Sistem ne "eski durum"dadır ne de "yeni kararlı durum"a girmiştir.
Böylece tipik bir olay meydana gelir: İlk birkaç parti önemli dalgalanmalar gösterir, ardından kademeli stabilizasyon gelir.
5. Temizleme neden "belleğin sıfırlanması" ile eş değerdir?
Temizlemenin işlevi yalnızca kiri çıkarmak değil, daha da önemlisi:
Mevduatları kaldır
Gaz adsorpsiyon dengesini bozar
Deşarj yollarını sıfırla
Sistem açısından bakıldığında şuna eşdeğerdir:
Uzun-dönemde birikmiş durumları tamamen temizliyoruz.
Yani temizledikten sonra:
Orijinal zanaat deneyimi artık tam olarak geçerli değil ve yeni bir dengenin-yeniden kurulması gerekiyor.
6. Daha Temel Bir Anlayış
Bu olguyu tek bir cümleyle özetlemek gerekirse şu şekilde anlaşılacaktır: PVD sistemi "belleksiz bir giriş/çıkış sistemi" değil, tarihten sürekli etkilenen dinamik bir sistemdir.
Parametreler girdinin yalnızca bir parçasıdır, "oda durumu"nun kendisi ise sürekli gelişen örtülü bir değişkendir.
7. Özet
Haznenin "durum hafızasının" oluşumu esasen uzun-dönemli üst üste gelen süreçten kaynaklanır: iç duvar biriktirme katmanının sürekli gelişimi, sürekli gaz adsorpsiyonu ve salınımı döngüsü ve tekrarlanan işlemler sırasında boşaltma yolunun kademeli olarak katılaşması. Bu faktörler birlikte çalışarak sistemin açık bir "tarih bağımlılığı" sergilemesini sağlar.
8. Temel sonuç: Her seferinde gördüğünüz deşarj durumu aslında mevcut parametrelerin sonucu değil, mevcut parametrelerin ve geçmiş birikmiş durumların üst üste binmesidir.
