Magnetron püskürtme vakumlu kaplama makinelerinde kaplanacak malzemeye alt tabaka, kaplanacak malzemeye ise hedef adı verilir. Hem substrat hem de hedef, vakum odasının içinde bulunur. Buharlaştırma kaplaması tipik olarak atomik kümeler veya iyonlar formundaki yüzey bileşenlerini buharlaştırmak için hedefin ısıtılmasını içerir. Bu buharlaşan bileşenler daha sonra alt tabaka yüzeyinde birikerek bir film-oluşturma süreci (dağınık-ada yapısı-gezgin yapı-katman büyümesi) yoluyla ince bir film oluşturur.
Püskürtme kaplamaları için, basitçe hedefi bombardıman etmek için elektronların veya yüksek-enerjili lazerlerin kullanılması, yüzey bileşenlerinin atomik kümeler veya iyonlar halinde püskürtülmesi, bunların daha sonra alt tabaka yüzeyinde birikmesi, sonuçta ince bir film oluşturmak üzere bir film-oluşturma sürecinden geçmesi olarak anlaşılabilir.
Çalıştırma Prosedürleri: Kontrol Kabininin Çalıştırılması
1. Su pompasını ve hava beslemesini açın.
2. Ana güç kaynağını açın.
3. Tutma pompasına ve vakum ölçere giden gücü açın. Vakum göstergesini V1 konumuna getirin ve bir sonraki adıma geçmeden önce değer 10'un altına düşene kadar bekleyin. Bu yaklaşık 5 dakika sürer.
4. Ön tahliye için mekanik pompayı-açın. Turbomoleküler pompayı açın ve çalıştırın. Vakum göstergesi anahtarını V2 konumuna getirin ve değer 2'nin altına düşene kadar tahliye edin. Bu işlem yaklaşık 20 dakika sürer.
5. Turbomoleküler pompa okuması 250'ye ulaştıktan sonra, ön-tahliyeyi kapatın. Tahliyeye devam etmek için ön pompayı ve yüksek vakum valfini açın. Ancak belli bir vakum seviyesine ulaştıktan sonra sağdaki yüksek vakum göstergesini açıp vakum derecesini gözlemleyebilirsiniz. Elektron tabancasının gücü ancak vakum 2 × 10⁻³'ye ulaştıktan sonra açılabilir.
DEF-6B Çalışması:
1. Ana Güç.
2. Elektron Tabancası Kontrolü I ve Elektron Tabancası Kontrolü II'yi aynı anda açın: Elektron Tabancası Kontrolü I için güç ve gecikme anahtarına basın. Gecikme, güç ve koruma ışıkları yanacaktır. Üç dakika sonra gecikme ve koruma ışıkları sönecektir. Arka kapının düzgün kapatılmaması veya su akış rölesinin arızalanması durumunda koruma lambası yanık kalacaktır.
3. Yüksek voltajı açın. Yüksek voltaj 10KV'nin üzerine çıkacak. Işın akımını yaklaşık 200mA'ya ayarlayın. Ekran ızgarası 20V/100mA, filaman akımı 1,2A ve sapma akımı 1 ile 1,7A arasında dalgalanıyor.
